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        深圳市志奮領科技有限公司

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        解決方案 | 應用于半導體設備上的熱門傳感器(一)
        發布時間:2022-07-26        瀏覽次數:850        返回列表
         半導體勻膠顯影機一般由動力系統、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成,適用于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝,制版的表面顯影。

        本期小明就來分享一下傳感器在勻膠顯影機中的作用~

        1.2

        檢測水滴/膠滴

        光纖傳感器  PG1+ PT-30ML

         

         

        • 選用區域對射光纖,覆蓋面積廣,即使水滴路徑有微小偏差依然在檢測區域內,可被穩定檢測
        • 功率大,光軸清晰明亮,可輕松調整光軸位置
        • 放大器搭載了超高速模式,微秒級響應時間,可穩定快速地進行檢測
        • SET按鍵調試,使用簡便輕松

         

         

        2.2 

         

        檢測晶片位置

        激光傳感器  ELE-RM05N

         

         

        • 晶圓傳送盒的顏色和形狀變化所產生的光量值偏差很小,需要選擇回歸反射型傳感器可進行穩定的測量,安裝反光板,減少了布線煩惱
        • 光斑小,可將傳感器裝在外部,穿過孔洞對內部物料進行檢測,輕松實現識別晶片傾斜/缺料等位置不正的情況
        • 激光的指向性佳,光斑小,便于安裝

         

         

        4.1 

         

        控制憎水液位

        液位傳感器  CE30-26NO

         

         

         

        • 當槽管內存在氣泡時,普通的光學傳感器很可能造成誤判
        • 產品防護等級IP67,防水防塵
        • 傳感器固定方式靈活,可任意輕松移動檢測位置

         

         

        5.1 

         

        匣盒載物臺的下限檢測

        接近傳感器  ESL-T50NO

         

         

         

        • 超薄尺寸,厚度僅有4mm,任意狹小空間均可安裝
        • 采用對射檢測原理,穩定可靠
        • 檢測距離達50cm,任意大小的設備場景均可使用

         

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